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【行业】刻蚀设备-半导体设备国产替代先锋(16页)

时间:2019-11-04 05:27:24  来源:  作者:

半导体制造工艺流程与所用设备一览。作为大部分的电子产品中的核心单元主要材料,半导体在消费电子、通信系统、医疗仪器等领域有广泛应用。完整的半导体产业链包括半导体设计公司、半导体制造公司、半导体封测公司和半导体设备与材料公司,其中,半导体设备的主要应用阶段为半导体的制造与封测工艺流程。半导体的制造工艺流程包括晶圆制造、晶圆加工和封装测试三个部分:晶圆制造:将半导体材料开采并根据半导体标准进行提纯后,通过一系列化学反应和表面处理,形成带有特殊粒子和结构参数的晶体,经过一系列处理后制成晶圆薄片(主要是硅晶圆),过程中主要运用单晶炉、CMP、清洗机等设备。晶圆加工:制成晶圆后,在表面上形成器件或集成电路,其中,前端工艺线(FEOL)是晶体管和其他器件在晶圆表面上的形成,后端工艺线(BEOL)是以金属线把器件连在一起并加一层最终保护层。加工过程中主要运用光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备、离子注入机、清洗机等设备。封装测试:晶圆上的芯片需要经过多道工序才能分隔开,并要进行针对性的测试和封装,得到应用于不同电子单元、不同下游领域的成品芯片,过程中主要运用各类测试和封装设备。

其中,刻蚀是用化学或者物理方法将晶圆表面不需要的材料逐渐去除的过程,决定了晶圆上的芯片电路能否与光掩模版上的芯片电路保持一致,是图形化工艺中的重点。主要考虑的参数有刻蚀速率、刻蚀剖面(各向同性/各向异性)、刻蚀偏差、选择比(对两种不同材料刻蚀速率的比值大小)、均匀性、残留物等。

半导体设备整体、以及细分的刻蚀设备行业属于典型的技术密集型行业,产品技术含量高、附加值高、对企业研发提出较高要求。同时配套产业要求高、客户认证周期长,对采购、销售等业务管理能力也提出了较高的要求。国外巨头由于起步早,资金、技术、客户资源、品牌等方面具备优势,目前占据较高市场份额。根据VLSI Research的统计,2018年全球前五大半导体设备制造厂商,占据了全球半导体设备市场65%的市场份额。

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